[发明专利]使用能量化离子以图案化磁性薄膜的方法有效
| 申请号： | 200980142620.6 | 申请日： | 2009-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102197426A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | O·那拉玛苏;S·文哈弗贝克;M·孚德;M·文卡特杉;N·M·克里希纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;G11B5/74 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于在一基板上图案化一磁性薄膜的方法，其包括：在该磁性薄膜周围提供一图案，其中该图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的该磁性薄膜的一部分。置放该基板以接收这些能量化离子。可使该磁性薄膜的该部分经受热激发。使该磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化一磁性媒体的方法，该媒体的两侧上具有一磁性薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 量化 离子 图案 磁性 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在一基板上图案化一薄膜的方法，其包含以下步骤：将一磁性薄膜安置于该基板上；将一图案安置于该磁性薄膜上，该图案具有允许能量化离子的穿透的选择性区域；产生一或多种元素的能量化离子；将该磁性薄膜的至少一个部分曝露于该或这些元素的这些能量化离子，其中使该基板在约1kV至约11kV的一范围内偏压；使与这些选择性区域相邻的该磁性薄膜的部分呈现出与该磁性薄膜的选择性其它部分不同的一磁性性质。
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