[发明专利]用于有机EL显示器的反射阳极电极及其制造方法无效
| 申请号： | 200980137648.0 | 申请日： | 2009-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102165847A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 越智元隆;后藤裕史;岸智弥;川上信之 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | H05B33/26 | 分类号： | H05B33/26;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于有机EL显示器的反射阳极电极，其具备的Al合金反射膜能够实现与氧化物导电膜的低接触电阻，同时能够实现优异的反射率。本发明的用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法，其特征在于，在基板上形成含有0.1～2原子％Ni或Co的Al合金膜，在真空或惰性气体气氛下，以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理，接着，以与所述Al合金膜直接接触的方式形成氧化物导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 el 显示器 反射 阳极 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法，其特征在于，在基板上使含有0.1～2原子％Ni或Co的Al合金膜成膜，在真空或惰性气体气氛下、以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理，使氧化物导电膜按照与所述Al合金膜直接接触的方式成膜。
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