[发明专利]用于激光加工的方法和设备有效
| 申请号： | 200980135211.3 | 申请日： | 2009-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102149509A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | M·斯特劳;M·托思;M·乌特劳特;D·H·纳鲁姆;G·克尼佩尔斯;G·N·A·范费恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/42;G01N23/225;B23K26/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘金凤;王洪斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过使用终点确定或者通过使用带电粒子束和激光一起来加强激光处理。终点确定使用来自基底的发射确定激光下的材料何时已经改变或者将要改变，所述发射诸如光子、电子、离子或中性粒子。从样本去除的材料能够被偏转以避免沉积到激光光学器件上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 加工 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种通过激光束处理产生或修改结构的方法，包括： 把激光束朝向样本引导以产生或者修改结构；检测来自所述样本的由所述激光束的入射引起的发射；确定所述发射的属性，所述属性表示所述样本的特征；以及当所述发射指示所述激光束入射到其上的材料的变化时改变所述激光束处理。
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