[发明专利]用于微光刻的照明光学单元有效
| 申请号： | 200980129636.3 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102112925A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 达米安.菲奥尔卡;迈克尔.托特泽克;哈特穆特.恩基希;斯蒂芬.米伦德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于利用照明光照明物场的用于微光刻的照明光学单元。第一面反射镜(13)具有多个第一面(19)。第二面反射镜(14)具有多个第二面(20)。分别包括第一面反射镜的面和第二面反射镜的面的面对(19，20)预定义用于照明物场的多个照明通道。至少某些照明通道在每种情况下都具有分配的偏振元件，用于预定义在各个照明通道中引导的照明光的各个偏振态(x-Pol，y-Pol，xy-Pol，yx-Pol)。这导致物场的照明确保下游成像的高结构分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微光 照明 光学 单元 | ||
【主权项】：
一种用于利用照明光(10)照明物场(5)的用于微光刻的照明光学单元(4)，‑包括具有多个第一面(19；52)的第一面反射镜(13；51)以及具有多个第二面(20；54)的第二面反射镜(14；53)，其中分别包括所述第一面反射镜的面和所述第二面反射镜的面的面对(19，20；52，54)预定义用于照明所述物场(5)的多个照明通道，其特征在于：至少某些所述照明通道在每种情况下都具有分配的偏振元件(21至24；26至30；37；39；47；63)，用于预定义在各个照明通道中引导的照明光(10)的单独偏振态。
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