[发明专利]自动表征等离子体的方法有效
| 申请号： | 200980124648.7 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN102067739A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 道格拉斯·凯尔;杰-保罗·布斯;克里斯托弗·索格林森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种在衬底处理过程中自动表征等离子体的方法。该方法包括收集一组工艺数据，其至少包括有关电流和电压的数据。该方法还包括为该组工艺数据鉴别关联范围，其中该关联范围包括该组工艺数据的子集。该方法进一步包括确定一组种子值。该方法又包括使用该关联范围和该组种子值执行曲线拟合，其中该曲线拟合使得该等离子体能被自动表征。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 表征 等离子体 方法 | ||
【主权项】：
一种在衬底处理过程中自动表征等离子体的方法，包含：收集一组工艺数据，所述组工艺数据至少包括有关电流和电压的数据；为所述组工艺数据鉴别关联范围，其中所述关联范围包括所述组工艺数据的子集；确定一组种子值；以及使用所述关联范围和所述组种子值执行曲线拟合，其中所述曲线拟合使得所述等离子体能被自动表征。
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