[发明专利]用于旋转靶的支撑件无效
| 申请号： | 200980123216.4 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102067267A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | C·勒古特;N·沙佩尔;C·鲁德 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡特朗讯公司 |
| 主分类号： | H01J35/10 | 分类号： | H01J35/10 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于旋转靶的支撑件，其具有大致为中心穿孔的圆盘的形状。所述支撑件是由基于镍的结构硬化的超级合金的材料制成的并且其形状是具有周边薄区域的圆盘。该周边薄区域和围绕中心孔的厚区域被斜率在3°至10°之间的凹进区域隔开，并且所述周边薄区域与所述围绕中心孔的厚区域之间的厚度比是在1.5至3之间。所述超级合金是在加工后经过结构硬化处理的Inconel。该支撑件的各表面中的至少一个被覆以辐射覆盖层用以通过热辐射来排放热量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 支撑 | ||
【主权项】：
一种用于旋转靶的支撑件，其大致呈圆盘形并且在其中心被穿孔，其特征在于，所述支撑件是由基于镍的结构硬化的超级合金的材料制成的，并且所述支撑件的形状是具有周边薄区域的圆盘，其中，该周边薄区域和围绕中心孔的厚区域被斜率在3°至10°之间的凹进区域隔开，并且所述周边薄区域与所述围绕中心孔的厚区域之间的厚度比是在1.5至3之间。
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