[发明专利]图案形成方法无效
| 申请号： | 200980117003.0 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN102027415A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 内田博;福島正人;坂田優子 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B29C59/02;G11B5/84;H01L21/027;B29L11/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成方法，具有以下第1～第3工序：第1工序，在基材上形成第一紫外线固化性树脂层；第2工序，使第一模具的形成了规定图案的图案形成面与上述第一紫外线固化性树脂层相对，并将上述基材与第一模具压接；第3工序，将使紫外光扩散的部件介于上述紫外线固化性树脂层与紫外光源之间，对通过上述压接而转印了上述第一模具的图案的第一紫外线固化性树脂层照射扩散了的紫外光。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种图案形成方法，具有以下第1～第3工序，第1工序：在基材上形成第一紫外线固化性树脂层；第2工序：使第一模具的形成有规定图案的图案形成面面向所述第一紫外线固化性树脂层，将所述基材与第一模具压接；第3工序：将使紫外光扩散的部件介于所述紫外线固化性树脂层与紫外光源之间，对通过所述压接而被转印了所述第一模具的图案的第一紫外线固化性树脂层照射被扩散了的紫外光。
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