[发明专利]全反射太赫兹波测定装置

摘要

本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜，具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25)，内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此，实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。

主权项

一种全反射太赫兹波测定装置，其特征在于，具备：输出光的光源；分支部，其将从所述光源输出的光2分支，并将该2分支的光中的一者作为泵浦光输出，将另一者作为探测光输出；太赫兹波产生元件，其包含非线性光学晶体，所述非线性光学晶体通过输入从所述分支部输出的泵浦光而产生太赫兹波并输出；内部全反射棱镜，将从所述太赫兹波产生元件输出的太赫兹波输入至入射面，使该输入的太赫兹波在内部传播并且在反射面上全反射，并将该太赫兹波从出射面向外部输出；滤波器，其设置于所述太赫兹波产生元件和所述内部全反射棱镜的所述入射面之间，使从所述太赫兹波产生元件输出的太赫兹波向所述内部全反射棱镜透过，并遮断透过所述太赫兹波产生元件并从所述太赫兹波产生元件输出的泵浦光；以及太赫兹波检测元件，将从所述内部全反射棱镜的所述出射面输出的太赫兹波以及从所述分支部输出的探测光输入，检测这些太赫兹波和探测光之间的相互关系，在所述内部全反射棱镜的所述入射面上一体地设有所述太赫兹波产生元件和所述滤波器，在所述内部全反射棱镜的所述出射面上一体地设有所述太赫兹波检测元件，由太赫兹波的全反射时产生的该太赫兹波的倏逝波成分而取得关于配置于所述内部全反射棱镜的所述反射面上的测定对象物的信息。