[发明专利]用于支撑光学元件的设备和制造该设备的方法无效
| 申请号： | 200980113206.2 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102007453A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | W·L·法恩斯沃思;S·斯玛尼 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供一种用于支撑光学元件的设备。该设备包括透镜单元(1003)和耦合至透镜单元的多个指状物(1000)。每个指状物包括配置成在所述光学元件安装到其中时耦合到所述光学元件的基部(1012)，在各自的第一端耦合至基部并且从所述基部以大约75到165度之间的发散角延伸的第一(1006a)和第二弯曲部(1006b)，和配置成与所述第一和第二弯曲部的各自的第二端耦合在一起的安装部件(1008)。所述安装部件由此耦合所述基部(1012)和所述透镜单元(1003)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 光学 元件 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于支撑光学元件的设备，包括：透镜单元；和多个指状物，耦合到所述透镜单元，其中每个指状物包括：基部，配置成在所述光学元件被安装到其中时耦合到所述光学元件，第一和第二弯曲部，其在各自的第一端耦合至基部并且从所述基部以大约75到165度之间的发散角延伸，和安装部件，配置成将所述第一和第二弯曲部的各自的第二端耦合在一起，其中所述安装部件由此耦合所述基部至所述透镜单元。
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