[发明专利]激光切割平台无效
| 申请号： | 200980112600.4 | 申请日： | 2009-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN101990481A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 斯里兰·克里士纳瓦米;栗田真一;巴萨姆·沙莫恩;本杰明·M·约翰斯顿;约翰·M·怀特;家发·范;因晨·黄 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供激光切割系统(100)及平移平台(102)，其可操作以在激光切割期间支撑一工件(104)。一激光切割系统(100)包括一基座区段；一床台(102)，其由该基座区段所支撑；一激光(202、302、442)；一第一驱动构件(114、116)，其可操作以沿着该床台(102)而纵向地移动一工件(104)；以及一第二驱动构件(134、136、522、524)。该床台(102)包含一可移动区段(554、620)，其经配置以相对于该基座区段平移。该可移动区段(554、620)包含一间隙以允许一激光束穿过。该激光(202、302、442)经设置以导引激光束通过该间隙。该第二驱动构件(134、136、522、524)可操作以横向平移该激光(202、320、442)及该可移动区段(554、620)，藉以在该工件(104)上切割一图案。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 切割 平台 | ||
【主权项】：
一种用于切割一工件的系统，该工件包括一基板以及至少一层，且该工件用于形成一太阳能电池，该系统包含：一激光，其可操作以产生能自该工件的至少一层移除材料的一输出；一扫描装置，其可操作以控制来自该激光的该输出的一位置；一平移平台，其可操作以支撑该工件，并相对于该扫描装置而沿着一纵向平移向量移动该工件，该平移平台包括至少一静止区段及一横向平移区段；以及一横向平移构件，其可操作以横向平移该扫描装置，其中该平移平台的该横向平移区段及该扫描装置能够以一协同横向运动而移动，以在二维中于该工件上切割图案而无须旋转该工件。
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