[发明专利]光检测器有效
| 申请号： | 200980109704.X | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101978246A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木顺;尾岛史一;北浦隆介 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J1/42;H01L27/14;H01L37/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中，包含：测辐射热计薄膜(22)，与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上；散热用金属膜(23)，经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(10)侧的表面上；以及多个金属柱(25)，与散热用金属膜(23)以及基板(10)热性连接，从而可以经由绝缘膜(31)、散热用金属膜(23)、金属柱(25)、基板侧散热用金属膜(24)有效地使由红外线所产生的受光部(22a)的热向基板(10)散热，因而可以正确地仅测定因使用环境的变化而产生的温度变化，有效地降低使用环境的温度变化的影响，并达成小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 | ||
【主权项】：
一种光检测器，其特征在于，包含：第1测辐射热计膜，与基板的表面分离且被支撑于所述基板的表面上；第2测辐射热计膜，与所述基板的表面分离且被支撑于所述基板的表面上；第1金属膜，经由绝缘膜而被形成在所述第2测辐射热计膜的所述基板侧的表面上；以及多个金属柱，与所述第1金属膜以及所述基板热性连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980109704.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
