[发明专利]基准球检测装置、基准球位置检测装置和三维坐标测量装置有效
| 申请号： | 200980108496.1 | 申请日： | 2009-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101970980A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 加藤欣也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 车文;张建涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于基准球位置检测装置(200)的基准球检测装置(100)，包括：光学单元(50)，具有激光光源(1)、会聚透镜(5)和第一图像拾取装置(8)，会聚透镜(5)用于会聚来自激光光源(1)的光并将光照射到定位在前焦点位置处或附近的基准球(6)，第一图像拾取装置(8)接收和检测从基准球(6)反射的光，第一图像拾取装置(8)设置在会聚透镜(5)的后焦点位置处；驱动单元(14、15)，用于使光学单元(50)绕基准点旋转地移动；和控制单元(60)，用于以接收反射光的位置为基础来控制驱动单元(14、15)并旋转地移动光学单元(50)，使得反射光到达第一图像拾取装置(8)的预定基准位置(O)。基准球位置检测装置(200)构成三维坐标测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基准 检测 装置 位置 三维 坐标 测量 | ||
【主权项】：
一种基准球检测装置，包括：光学单元，所述光学单元具有光源、会聚透镜和接收单元，所述会聚透镜用于会聚来自所述光源的光并使光照射到定位在前焦点位置处或前焦点位置附近的基准球，所述接收单元用于接收和检测从所述基准球反射的光，所述接收单元设置在所述会聚透镜的后焦点位置处或后焦点位置附近；驱动单元，所述驱动单元用于使所述光学单元绕基准点旋转地移动；以及控制单元，所述控制单元用于以接收由所述接收单元检测到的反射光的位置为基础来控制所述驱动单元并旋转地移动所述光学单元，使得所述反射光到达所述接收单元的预定基准位置。
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