[发明专利]一种使用横梁和膜片的低压传感器

摘要

一种低压传感器包括圆盘形金属膜片，流体压力作用于该膜片，其中该膜片包含凸起的横梁，横梁通过减薄膜片除横梁外的整个外表面而形成；以及至少一个玻璃状结合于横梁的硅应变计，其中，该低压传感器可精确测量至少低至15psi的压力。本发明还包括一种低压传感器的制造方法，包括步骤：形成具有顶面和底面的圆柱形膜片；通过形成轴向穿设传感器本体且终止于膜片底面的孔，来建立相对工作平面的膜片的直径和厚度；形成与工作平面一体的横梁状的凸起表面；以及在膜片的凸起表面粘贴一个或多个应变计。

主权项

一种低压传感器的制造方法，包括步骤：在金属传感器本体上形成具有顶面和底面的圆柱形金属膜片；通过形成轴向穿设传感器本体且终止于膜片底面的孔，建立金属膜片相对工作平面的直径和厚度；通过从金属膜片的顶面减薄金属膜片的厚度，形成与金属膜片顶面一体的、呈横梁形状的凸起表面；及将一个或多个应变计玻璃状结合于金属膜片的凸起表面。