[发明专利]离子源

摘要

本发明的一种离子源(1)，包括设置用于引出离子束(B)的开口部(20)的第一壁面(30)、沿磁铁(26、28)的配置方向延伸的第二壁面(32)以及细丝(12)。该细丝(12)从第二壁面(32)沿与磁铁(26、28)的配置方向不同的方向竖直设置，并在其中心部折回以形成不相接触的X状交叉的环状(40)。由此，能够不扩大磁铁间的距离而增大离子束电流，同时能够低成本地制造细丝且提供鲁棒性高的离子源。

主权项

一种离子源，通过提供气体、施加电弧电压而产生等离子体，并由该等离子体产生离子束，其特征在于包括：一对磁铁，形成沿与离子束的引出方向垂直的方向施加的磁场；等离子体容器，设置在所述一对磁铁之间，具有提供气体以产生等离子体的导体面的内部空间，其中用于引出离子束的开口部设置在所述内部空间内沿所述一对磁铁的配置方向延伸的第一壁面上；细丝，与所述等离子体容器电绝缘，从沿所述一对磁铁的配置方向延伸的第二壁面竖直设置且通过通电而在所述内部空间释放热电子；电源，使电流在所述细丝中流动；其中，竖直设置所述细丝的所述第二壁面是朝向与所述第一壁面的朝向方向不同的方向的表面，所述细丝从所述第二壁面竖直设置在与所述一对磁铁的配置方向不同的方向上，进一步地，所述细丝在所述细丝的中心部折回并形成环状，并且当从垂直于形成所述环状的表面的方向观察时在所述环状的基部具有不相接触的X状交叉的部分。