[实用新型]一种高功率横流CO2激光器自动充排气系统

摘要

一种高功率横流CO2激光器自动充排气系统，属于激光器技术领域。包括激光器箱体、充气系统及排气系统，所述激光器箱体分别与排气系统的排气管和充气系统的充气管连接，所述的充气系统包括He单元、Ar单元、N2单元、CO2单元、快速充气单元、慢速充气单元、混合气储气瓶和压力表，各气体单元并联后与混合气储气瓶进气口连接，混合气储气瓶出气口分别与充气系统的慢速充气单元、快速充气单元及压力表连接。本实用新型中的各气体单元设有调压阀，更好地限制输出的气体压力，使流经通道的气体压力相同，防止不同的流量计的流量误差。安装慢速充气和慢速排气单元，使激光器气体不断更新。通过电磁阀的开闭顺序，实现两种混合气体的自动转换。

主权项

一种高功率横流CO2激光器自动充排气系统，包括激光器箱体、充气系统及排气系统，所述激光器箱体分别与排气系统的排气管和充气系统的充气管连接，其特征在于：所述的充气系统包括He单元、Ar单元、N2单元、CO2单元、快速充气单元、慢速充气单元、混合气储气瓶和压力表，各气体单元并联后与混合气储气瓶进气口连接，混合气储气瓶出气口分别与充气系统的慢速充气单元、快速充气单元及压力表连接。