[实用新型]单晶硅端面垂直测试装置有效
| 申请号： | 200920254987.4 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN201607205U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吴涛;吕思迦;李双凯 | 申请（专利权）人： | 晶龙实业集团有限公司;宁晋晶峰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/245 | 分类号： | G01B5/245 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅端面垂直测试装置，用于监视和测量单晶硅端面垂直度。结构包括测试端面、底座和连杆，测试端面和底座通过连杆连接，测试端面的垂线平行于底座所在平面。可方便时时检测和测试所切硅棒断面的平整度，从而保证加工出的产品成品率高，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 端面 垂直 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅端面垂直测试装置，其特征在于：测试端面(1)和底座(3)通过连杆(2)连接，测试端面(1)的垂线平行于底座(3)所在平面。
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