[实用新型]一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖无效
| 申请号： | 200920220391.2 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201518226U | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;岳永海;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G12B21/02 | 分类号： | G12B21/02;G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖。本实用新型包括底座，悬臂梁和针尖，其特征在于，在底座，悬臂梁和针尖上有一层绝缘介电层，在绝缘介电层上分布4个阻值相等的压敏电阻，其中两个压敏电阻位于底座上，另外两个压敏电阻位于悬臂梁上且平行于悬臂梁的长度方向分布，通过导线将4个压敏电阻连接成一个惠斯通电桥。利用本实用新型的复合悬臂梁针尖将不再使用激光定位测量扫描探针显微镜悬臂梁针尖所发生的微小应变，而是将能够精确测量微小应变的压敏电阻与悬臂梁针尖耦合在一起，测量悬臂梁与样品发生作用时的力学信号，以及静电力的大小，磁场的分布等信息，属于微机械传感器技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显微 技术 复合 悬臂梁 针尖 | ||
【主权项】：
一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖，包括底座，悬臂梁和针尖，其特征在于，在底座，悬臂梁和针尖上有一层绝缘介电层，在绝缘介电层上分布4个阻值相等的压敏电阻，其中两个压敏电阻位于底座上，另外两个压敏电阻位于悬臂梁上且平行于悬臂梁的长度方向分布，通过导线将4个压敏电阻连接成一个惠斯通电桥。
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