[实用新型]用于双阴极辉光放电渗金属的源极无效
| 申请号： | 200920199385.3 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201517130U | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张高会;李红卫;郑顺奇;于明州;黄国青;潘俊德 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所 33230 | 代理人： | 王桂名;余华康 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于双阴极辉光放电渗金属的源极，所述源极总体上呈圆柱形，所述圆柱沿轴向对称设有若干圆孔；所述圆柱上部中心设有呈圆柱形的中空部分，所述中空部分沿轴向对称设有若干圆孔。本实用新型充分利用空心阴极效应，在源极上设计出诸多圆孔，一是活化了内壁表面的碳粒子，二是增加了溅射面积，增加了溅射量，为产生高浓度的金属粒子创造条件；另外本专利在源极上部中心设置了中空区域，使在阴极孔内产生的等离子体先在该区域进行混合均匀，从而达到渗碳均匀的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阴极 辉光 放电 金属 | ||
【主权项】：
一种用于双阴极辉光放电渗金属的源极，其特征在于：所述源极总体上呈圆柱形，所述圆柱沿轴向对称设有若干圆孔；所述圆柱上部中心设有呈圆柱形的中空部分，所述中空部分沿轴向对称设有若干圆孔。
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