[实用新型]一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置有效
| 申请号： | 200920177232.9 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201553778U | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 范多望;范多进;孔令刚;令晓明 | 申请（专利权）人： | 兰州大成科技股份有限公司;兰州大成真空科技有限公司;常州大成绿色镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人： | 张真 |
| 地址： | 730000 甘肃省兰州*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置，包括开卷机组(10)，其主要特点在于设置的真空镀膜室包括有1-3个A低真空室(20a)，1-3离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，1-9个高真空室(50)，1-8个镀膜室(60)，1-3个A低真空室(20b)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；1-3个A低真空室(20a)，1-3个离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，1-5个高真空室(50)，1-5个镀膜室(60)，1-3个A低真空室(20b)与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。这种装置的优点在于：可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜，膜层厚度可独立进行控制，膜层均匀致密，附着力强适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属薄板 连续 进行 表面 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置，包括开卷机组(10)，其特征在于设置的真空镀膜室包括有1-3个A低真空室(20a)，1-3个离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，1-9个高真空室(50)，1-8个镀膜室(60)，1-3个A低真空室(20b)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；1-3个A低真空室(20a)，1-3个离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，1-5个高真空室(50)，1-5个镀膜室(60)，1-3个A低真空室(20b)与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州大成科技股份有限公司;兰州大成真空科技有限公司;常州大成绿色镀膜科技有限公司，未经兰州大成科技股份有限公司;兰州大成真空科技有限公司;常州大成绿色镀膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920177232.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于制造轮胎的刚性芯体
- 下一篇：粘合基板制造装置和粘合基板制造方法
- 同类专利
- 专利分类
