[实用新型]一种用于电镀层表面分析的显微检测仪

摘要

本实用新型涉及一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架、电子控制装置和计算机，电子控制装置通过导线与计算机连接，所述支架的顶部设有CCD摄像装置，CCD摄像装置包括目镜和物镜转换器，物镜转换器的下部设有物镜和SPM探头，所述支架的底部设有步进马达精密调焦装置，步进马达精密调焦装置的上表面设有步进马达二维精密工作台，步进马达二维精密工作台上表面的中部设有三维扫描台，三维扫描台通过导线与电子控制装置连接。本实用新型的有益效果为：可以用光学显微镜来选择样品的细节，使要测量的部位进入视场的中央，然后将SPM探头转至测量位置，对同一区域进行扫描即可开始高分辨测量，极大地提高了工作效率，成为最实用的表面分析装置。

主权项

一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架(1)、电子控制装置(2)和计算机(3)，电子控制装置(2)通过导线与计算机(3)连接，其特征在于：所述支架(1)的顶部设有CCD摄像装置(4)，CCD摄像装置(4)包括目镜(5)和物镜转换器(6)，物镜转换器(6)的下部设有物镜(7)和SPM探头(8)，所述支架(1)的底部设有步进马达精密调焦装置(9)，步进马达精密调焦装置(9)的上表面设有步进马达二维精密工作台(10)，步进马达二维精密工作台(10)上表面的中部设有三维扫描台(11)，三维扫描台(11)通过导线与电子控制装置(2)连接，所述支架(1)的后部设有垂直照明装置(12)。