[实用新型]激光刻线机及基板传送装置有效
申请号: | 200920109689.6 | 申请日: | 2009-07-01 |
公开(公告)号: | CN201455552U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 常温;薛亮;张绍衡 | 申请(专利权)人: | 北京清大天达光电科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/42;C03B33/08 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 顾惠忠 |
地址: | 100076 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及激光加工技术领域,公开一种激光刻线机及基板传送装置,所述激光刻线机包括激光头和基板传送装置,所述基板传送装置包括导轨座、固定在所述导轨座上的直线导轨、可沿所述直线导轨滑动的滑块、固定于所述滑块的工作台、以及直线电机,所述工作台具有用于固定连接所述基板的连接机构,所述直线电机包括定子和动子,所述定子固定在所述导轨座上,所述动子驱动所述工作台沿所述直线导轨运动。本实用新型能够提供平稳的运动,并能保证高精度的基板传送。 | ||
搜索关键词: | 激光 刻线机 传送 装置 | ||
【主权项】:
一种激光刻线机,其特征在于,所述激光刻线机包括激光头和基板传送装置,所述基板传送装置包括导轨座、固定在所述导轨座上的直线导轨、可沿所述直线导轨滑动的滑块、固定于所述滑块的工作台、以及直线电机,所述工作台具有用于固定连接所述基板的连接机构,所述直线电机包括定子和动子,所述定子固定在所述导轨座上,所述动子驱动所述工作台沿所述直线导轨运动。
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