[实用新型]微分干涉相衬层析显微镜无效
| 申请号： | 200920085467.5 | 申请日： | 2009-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN201732057U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 许忠保;张爽;张华;王心怡 | 申请（专利权）人： | 许忠保;张爽;张华;王心怡 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 朱盛华 |
| 地址： | 430068 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微分干涉相衬层析显微镜。两组合光源经光纤耦合器、准直透镜、起偏器以平行光束入射至光束分离器后分为两路，样品光束经Nomarski棱镜、筒长无限显微物镜入射到载物台上的被测样品，参考光束经相同系统入射到参考反射镜表面，反射镜通过支架与二维反射镜工作台固定在一起，二维反射镜工作台通过齿条、齿轮等与步进电机连接，螺母与载物工作台连接，反射镜与PZT连接。参考光束和样品光束经光束分离器经辅助物镜、检偏器、目镜接CCD探测器。本实用新型采用两LED光源，提高了系统层析图像信号的信噪比，实现对透明或半透明物体的微分相衬观察，并能同时提取物体内部微米级的结构层析图像。 | ||
| 搜索关键词： | 微分 干涉 层析 显微镜 | ||
【主权项】：
微分干涉相衬层析显微镜，其特征在于两LED组合的光源经光纤耦合器，出纤光束经准直透镜、起偏器以平行光束入射至光束分离器后分为两路，光束的一路样品光束经Nomarski棱镜、筒长无限显微物镜入射到载物台上的被测样品，光束的另一路参考光束经Nomarski棱镜，筒长无限显微物镜平行入射到参考镜表面，参考光束和样品光束经光束分离器、辅助物镜、检偏器、目镜接CCD探测器，反射镜通过支架与二维反射镜工作台固定在一起，二维反射镜工作台通过齿条、齿轮、丝杠、螺母与步进电机连接，螺母与载物工作台连接，反射镜与PID微位移闭环控制系统的PZT连接。
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