[实用新型]高真空系统去污结构的控制系统装置

摘要

一种涉及高真空系统清洁维护以及其对光电阴极影响的改进装置，尤指一种用于对光电阴极制备过程中真空系统的清洁维护使用的高真空系统去污结构的控制系统装置，本实用新型包括机械泵、分子泵、冷规、电离规管、电磁阀门和气体过滤器等部件，在原真空系统中增设了一套冲氮装置，以及增设一套基于可编程逻辑控制器PLC的温度控制系统和冲抽氮压控制系统。主要解决如何设计一套热氮置换维护系统来改善真空系统等有关技术问题。本实用新型的积极效果是：减少了影像增强器的返修量，建立了以平时保养为主，临时应急为辅的保养维护制度，减少了保养的人力投入，具有操作方便，安全可靠等优点。

主权项

一种高真空系统去污结构的控制系统装置，包括真空系统及光电阴极，其特征在于还包括：机械泵(SP)、分子泵(TP)、冷规(CDG)、电离规管(HVG)、电磁阀门、压力控制阀(V6)和气体过滤器(V7)，在原真空系统中增设了一套冲氮装置，以及增设一套基于可编程逻辑控制器PLC的温度控制系统和冲抽氮压控制系统，上述各部件组合为一整体的清洗高真空系统，该系统至少包括有：一分子泵(TP)增设了前级阀门，分子泵(TP)的第一路通过不锈钢管道与电磁阀门D(V4)的一端相互联接，电磁阀门D(V4)的另一端通过不锈钢管道与电磁阀门E(V5)的一端相互联接后整个系统密闭，电磁阀门E(V5)的另一端依次通过不锈钢管道与压力控制阀(V6)和气体过滤器(V7)相互联接；分子泵(TP)的第二路通过不锈钢管道与电离规管(HVG)相互联接；分子泵(TP)的第三路通过不锈钢管道经由电磁阀门B(V2)与冷规B(CDG2)的一端相互联接；一机械泵(SP)依次通过不锈钢管道经由电磁阀门A(V1)和电磁阀门C(V3)与冷规A(CDG1)的一端相互联接；一电离规管(HVG)通过不锈钢管道与分子泵(TP)和电磁阀门D(V4)的连接点相互联接。