[实用新型]一种玻璃基片弹夹件

摘要

本实用新型公开了一种玻璃基片弹夹件，用于导电玻璃进行镀膜加工时夹持玻璃基片，采用耐高温的镍金属丝通过弯曲成形制成夹件体，将镍金属丝中间位置弯曲成用于将弹夹件固定于基片架的固定部，弯曲后，两端交叉外伸形成两个延伸端，其中一端为抵持部，另一端为用于夹持玻璃基片的夹持部。本实用新型采用镍合金丝制作，由于镍合金丝的表面积很小，与玻璃基片接触处很少，斜向的靶材沉积到基片与基片中间的几率相同，膜厚均匀性、电阻均匀性等指标提高，局部小面积的大方块电阻值明显变小，均匀性得到很大提高，单片电阻值极差从原来的60Ω降至35Ω以下，保证了产品质量的稳定。

主权项

1.一种玻璃基片弹夹件，其特征是：夹件体为丝状，夹件体中间位置弯曲成用于将弹夹件固定于基片架的固定部(1)，弯曲后，两端交叉外伸形成两个延伸端，其中一端为抵持部(2)，另一端为用于夹持玻璃基片的夹持部(3)。