[实用新型]一种控制冷却循环水流量和水温的装置无效
| 申请号： | 200920032350.0 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN201402786Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 郑波;王立新;王彬 | 申请（专利权）人： | 彩虹光电材料总公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385;H01J9/38;G05D27/00;G05D7/00;G05D23/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 71202*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种控制冷却循环水流量和水温的装置，包括排气机、蓄水罐、真空泵组、清水泵、循环回水管、循环进水管、机头、机头回水管、真空泵回水管、真空泵进水管，排气机与蓄水罐通过机头回水管连接，真空泵组与蓄水罐通过真空泵回水管连接，总管供水分别与循环进水管和真空泵进水管连接，循环进水管与机头回水管连接通过机头连接，总管供水与清水泵通过循环回水管连接，清水泵连接在蓄水罐上面。本实用新型实现了实时监测排气机机头和各个真空泵的回水流量及水温，从而保证设备的正常运行，避免因机头和真空泵温度异常造成的灯管真空度下降，有效提高产品品位、提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 冷却 循环 水流 水温 装置 | ||
【主权项】：
1、一种控制冷却循环水流量和水温的装置，包括排气机(1)、蓄水罐(2)、真空泵组(3)、清水泵(4)、循环回水管(5)、循环进水管(6)、机头(7)、机头回水管(8)、真空泵回水管(9)、真空泵进水管(10)，其特征在于：排气机(1)与蓄水罐(2)通过机头回水管(8)连接，真空泵组(3)与蓄水罐(2)通过真空泵回水管(9)连接，总管供水分别与循环进水管(6)和真空泵进水管(10)连接，循环进水管(6)与机头回水管(8)连接通过机头(7)连接，总管供水与清水泵(4)通过循环回水管(5)连接，清水泵(4)连接在蓄水罐(2)上面。
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