[实用新型]蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻设备，主要特征在于浸泡槽上方平均设置多个喷源，喷源接受一药液工作槽的供给，浸泡槽入料处的内侧设置与该药液工作槽管路相连的一涂布装置，浸泡槽出料处外侧设置一可喷出压缩空气的出气装置，玻璃基板随着送料导轮的运作，其首端先接受涂布装置涂布药液，直到全面均匀的涂布药液后，再全面同步接受浸泡及喷嘴喷洒药液，达预定蚀刻时间后，送出玻璃基板，其首端同样先接受出气装置喷除残留的药液，直到全面喷除后再进入下一阶段水洗程序；如此能使玻璃基板全面蚀刻及清洗的时间相同，以提升玻璃基板蚀刻的均匀性。

主权项

1.一种蚀刻设备，其特征在于，包含： 一浸泡槽，其两端各具有一入料闸门与一出料闸门； 一送料导轮，用以承载一基板，使该基板可通过该浸泡槽； 一喷洒系统，其具有一接设在该浸泡槽外部的药液工作槽，以及接受该药液工作槽供应药液的多个喷源，喷源是平均设置并相应于该浸泡槽上方，该药液工作槽与该浸泡槽之间以管路相连以补给或回收药液； 一涂布装置，设置于该入料闸门内侧，并与该药液工作槽之间以管路相连以释放出药液； 一出气装置，设置于该出料闸门外侧，能释放出气体； 闸门与该送料导轮受蚀刻设备中的一电控部所控制。