[发明专利]一种大尺寸超薄激光晶体的加工方法有效
| 申请号： | 200910310318.9 | 申请日： | 2009-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101722470A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 邹武应;王国强;刘玉清;叶茂;杨云龙 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 王芸;吴彦峰 |
| 地址： | 611630 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄激光晶体的加工方法，属于晶体加工技术领域，包括将在真空吸附垫无粘性的一面均匀涂上少许水，将待加工晶体放在上面，挤压真空吸附垫，将水全部排出形成真空带，使晶体与真空吸附垫吸附牢固，将真空吸附垫有粘性的一面贴在铝盘上，将铝盘安装在二轴机上，根据需要加工待加工晶体的表面，加工完毕，待晶体冷却至室温时检查晶体面形，并将晶体下盘等步骤；采用本发明加工超薄激光晶体，产品在下盘后的面形不会变形，该方法加工超薄激光晶体面形能达到λ/10～λ/4，光洁度能达到20/10。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 超薄 激光 晶体 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸超薄激光晶体的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：将在真空吸附垫无粘性的一面均匀涂上少许水，将待加工晶体放在上面，挤压真空吸附垫，将水全部排出形成真空带，使晶体与真空吸附垫吸附牢固；将真空吸附垫有粘性的一面贴在铝盘上；将铝盘安装在二轴机上，根据需要加工待加工晶体的表面；加工完毕，待晶体冷却至室温时检查晶体面形，并将晶体下盘。
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