[发明专利]铝合金表面掺钛类金刚石膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910309655.6 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101876053A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 鄂俊强;熊国源;朱志华 | 申请（专利权）人： | 中信戴卡轮毂制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/46;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 066003 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝合金表面掺钛类金刚石膜，结构为：铝基体→Ti底层→TiN层→Tic过渡层→Ti+类金刚石层→类金刚石层。本发明还公开了制备该类金刚石膜的方法：通入99.99％的高纯氩及99.99％的高纯甲烷。轮毂用铝合金分别用金属清洗液清洗，烘干后放进真空室，抽真空至5×10-3Pa，通氩气至5×10-1Pa，用离子源结合偏压溅射清洗样片表面；沉积时真空度为3×10-1Pa，离子源离化甲烷成碳离子在试样上沉积DLC膜，同时利用磁控溅射制备过渡层及实现掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 表面 掺钛类 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
铝合金表面掺钛类金刚石膜，其特征在于：其结构为铝基体→Ti底层→TiN层→Tic过渡层→Ti+类金刚石层→类金刚石层。
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