[发明专利]等离子体诊断用多功能探针无效
| 申请号： | 200910306774.6 | 申请日： | 2009-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN101650230A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 陆文琪;王友年;邓新绿;徐军;董闯;邱大伟;范鹏辉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;日新电机（大连）技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00;G01R1/067;G01R19/25;G01R1/073;G01T1/29;H05H1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116085辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体诊断用多功能探针，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。该多功能探针兼有单探针、双探针和三探针功能，探针电路在计算机软件控制下能够按照设定在单探针、双探针或三探针模式下进行工作，工作模式的切换由计算机指令控制继电器动作实现。本发明的效果和益处是：将单探针、双探针和三探针的功能集于一体，利用三种探针相互互补的优点弥补它们各自的局限性，从而能够不受放电形式制约广泛适用于各种等离子体诊断，并且具有快速诊断能力。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 诊断 多功能 探针 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体诊断用多功能探针，其特征在于：该多功能探针包括三个相互靠近的金属电极(A、B和C)、探针电路、计算机，金属电极的材料、形状和大小相同；探针电路由驱动电路和数据采集卡(4)组成，驱动电路包括继电器(5)、高压运放(6)、取样电阻(7)、反馈电阻(8)和输入电阻(9)，数据采集卡(4)上有模拟信号输入端子(10)、数字信号输出端子(11)、模拟信号输出端子(12)和接地端子(13)；探针电路在计算机控制下能够按照设定在单探针、双探针或三探针模式下进行工作，分别实现单探针、双探针和三探针功能；工作模式的切换由数据采集卡(4)按照计算机指令控制继电器(5)实现；单探针和双探针模式下工作所需扫描偏置电压由模拟信号输出端子(12)的模拟输出信号经驱动电路的高压运放升压提供；三探针模式下工作所需固定偏置电压由模拟信号输出端子(12)的模拟输出电压直接提供；探针工作模式切换由数字信号输出端子(11)的数字输出电平控制继电器动作实现；探针的电压、电流信号由模拟信号输入端子(10)采集。
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