[发明专利]制膜设备无效
申请号: | 200910304148.3 | 申请日: | 2009-07-08 |
公开(公告)号: | CN101942646A | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 刘今媛;黄世民 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/06;C23C16/54;C23C16/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备导电膜的制膜设备,其包括:一基板、一成膜装置和一拉膜装置,该成膜装置用于形成一膜层结构在该基板上,该基板具有相对的两个平直侧边、一连接该些平直侧边的第一侧边及一连接该些平直侧边且与该第一侧边相对的第二侧边,该拉膜装置经由该基板的该第一侧边拉出该基板上的该膜层结构而产生一导电膜。 | ||
搜索关键词: | 设备 | ||
【主权项】:
一种制膜设备,其包括:一基板、一成膜装置和一拉膜装置,该成膜装置用于形成一膜层结构在该基板上,该拉膜装置用于拉出该基板上的该膜层结构而产生一导电膜,该基板包括一第一侧边和一与该第一侧边相对的第二侧边,其特征在于:该基板进一步包括相对的两个平直侧边,该第一侧边和该第二侧边连接该些平直侧边,该拉膜装置是经由该基板的该第一侧边拉出该基板上的该膜层结构而产生一导电膜。
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