[发明专利]一种交叉场放电的控制方法

摘要

本发明公开了一种交叉场放电的控制方法，属于电工工程技术领域。通过控制交叉场中的磁场强度、磁场空间分布以及磁场特性和电源电压、放电气压和气体成分互相匹配来调整放电中的各种磁效应，调整放电状态为稳定放电或者等离子体磁流体行驻波共振的状态。在构成交叉场的磁场中磁场感应强度因在0-3T的范围之内，电压的范围在0-10000V之间，通过使用频率范围为0Hz-1MHz、电源电压在0-10000V之间的高功率脉冲开关电源供电或者直接使用0-10000V的可调直流电源为放电系统提供电能。本发明的有益效果是系统结构简单、放电效率高。

主权项

1.一种交叉场放电的控制方法，其特征在于：采用在交叉场放电离子源中由电场和磁场互相正交形成封闭或开放的交叉场空间的结构，通过控制交叉场中的磁场强度、磁场空间分布以及磁场特性和电源电压、放电气压和气体成分互相匹配来调整放电中的各种磁效应；控制在放电中形成的鞘层不稳定性和等离子体不稳定性导致的等离子体驻波共振机制耦合电源能量或者实现稳定的放电机制耦合电源能量；在构成交叉场的磁场中磁场感应强度在0-3T的范围之内，电压的范围在0-10000V之间，通过使用频率范围为0Hz-10GHz、电压幅值在0-10000V之间的高功率脉冲开关电源供电或者直接使用0-10000V的可调直流电源为放电系统提供电能；电源的供给电压、放电气压、气体成份需要和磁场特性通过反馈方式匹配，波动频率在0-10GHz之间，振幅通过电源的电压控制，电源连接到真空放电电极上，在真空室压力在0.01-1000Pa的范围之内，使用直流和脉冲方式供给磁控放电形成等离子体，由电源功率和频率控制交叉场放电等离子体静电驻波共振放电状态或者实现稳定控制。