[发明专利]压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置有效
申请号: | 200910261058.0 | 申请日: | 2009-12-17 |
公开(公告)号: | CN101841313A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 坂下武;原基扬;岩城匡郁;横山刚;谷口真司;西原时弘;上田政则 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/54;H03H3/02 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 宋鹤;南霆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置。该压电薄膜谐振器包括衬底、在衬底上设置的下电极、在下电极上设置的压电膜、以及在压电膜上设置的上电极。上电极的至少一部分和下电极的至少一部分通过压电膜彼此相对,并且上电极的外围的至少一部分是逆锥形的。 | ||
搜索关键词: | 压电 薄膜 谐振器 滤波器 通信 模块 装置 | ||
【主权项】:
一种压电薄膜谐振器,包括:衬底;在所述衬底上设置的下电极;在所述下电极上设置的压电膜;以及在所述压电膜上设置的上电极,其中,所述上电极的至少一部分和所述下电极的至少一部分通过所述压电膜彼此相对,并且所述上电极的外围的至少一部分具有逆锥形的形状。
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