[发明专利]氧化锌类靶有效
| 申请号： | 200910258492.3 | 申请日： | 2009-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101914754A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 高桥诚一郎;森内诚治;宫下德彦;池田真 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种耐环境性优异的氧化锌类靶。所述氧化锌类靶以氧化锌为主要成分，含有钛(Ti)和镓(Ga)两种元素，两元素含量为钛1.1at％以上或镓4.5at％以上的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 | ||
【主权项】：
一种氧化锌类靶，其特征在于，具有氧化物烧结体，该氧化物烧结体以氧化锌为主要成分、含有钛(Ti)和镓(Ga)两种元素、两种元素的含量为钛1.1at％以上或镓4.5at％以上的范围。
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