[发明专利]线性电动机磁屏蔽件设备有效
| 申请号： | 200910258374.2 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101917110A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | K·K·曼卡拉;R·B·维纳;P·K·果维欧;A·尼尔森 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种线性电动机磁屏蔽件设备。在该设备中，具有无磁性间隙的磁屏蔽件为精确定位系统中的线性电动机排列提供减小的磁性串扰。重新引导漏磁通抑制了串扰和相关的有害效应。这种优选的泄漏的磁通路路径被附于线性电动机的移动的磁体系统。通过提供由永磁体和背铁之间的无磁性间隙隔离的铁磁性屏蔽件，实现优选的磁通泄漏路径的实施例。在另一实施例中，铁磁性屏蔽件隔离包括反磁材料。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 电动机 屏蔽 设备 | ||
【主权项】：
一种线性电动机，包括：第一背铁和第二背铁，所述第一背铁和第二背铁在第一方向上延伸；第一多个磁极，所述第一多个磁极在所述第一方向上彼此以交替的极性布置，其中所述第一多个磁极与所述第一背铁耦合；第二多个磁极，所述第二多个磁极在所述第一方向上彼此以交替的极性布置，其中所述第二多个磁极与所述第二背铁耦合，并且其中所述第二多个磁极布置成与所述第一多个磁极相对；线圈，所述线圈设置在所述第一多个磁极和所述第二多个磁极之间的间隙内；第一开口屏蔽件，所述第一开口屏蔽件设置在第一漏磁通路径中，其中所述第一开口屏蔽件与所述第一多个磁极磁隔离并且与所述第一背铁磁隔离；和第二开口屏蔽件，所述第二开口屏蔽件设置在第二漏磁通路径中，其中所述开口屏蔽件与所述第二多个磁极磁隔离并且与所述第二背铁磁隔离。
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