[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构有效
| 申请号： | 200910237660.0 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101710204A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王建;胡松;赵立新;邢薇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微头安装在镜筒中并与物镜光轴垂直，弹性导向机构安装在镜片框的侧面，导向柱底座与镜片框的接触面为弹性导向机构；滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的偏心调整，以达到镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 物镜 中的 镜片 偏心 微调 机构 | ||
【主权项】：
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框(6)及镜筒(8)上，镜片框(6)位于镜筒(8)内，并与镜筒(8)之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头(1)、滑块(2)、导向柱(3)、导向柱底座(4)、弹性垫(5)；调微头(1)安装在镜筒(8)中并与物镜光轴向垂直，弹性垫(5)安装在镜片框(6)的侧面，导向柱底座(4)与镜片框(6)的接触面为弹性垫(5)；滑块(2)镶嵌在导向柱底座(4)上的导向柱(3)中。
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