[发明专利]喷胶装置及喷胶方法无效
| 申请号： | 200910231696.8 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102096324A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 李长江 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214061 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种喷胶装置，包括第一喷胶泵、第二喷胶泵及过滤器。第一喷胶泵用于为喷胶装置吸入供喷出的胶液。第二喷胶泵用于喷出经第一喷胶泵吸入的胶液。过滤器用于过滤经第一喷胶泵流向第二喷胶泵的胶液。本发明还提供一种对应的喷胶方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种喷胶装置，包括：第一喷胶泵，用于为所述喷胶装置吸入供喷出的胶液；第二喷胶泵，用于喷出经所述第一喷胶泵吸入的胶液；过滤器，用于过滤经所述第一喷胶泵流向所述第二喷胶泵的胶液。
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