[发明专利]蓝宝石硅棒的切割方法

摘要

本发明提供一种蓝宝石硅棒的切割方法，首先提供一圆柱形蓝宝石硅棒；其次提供一具有黏合介质的工件夹具，使工件夹具黏合蓝宝石硅棒两侧面，且工件夹具可带动蓝宝石硅棒绕其轴线进行旋转以及垂向移动；提供至少一根可高速运行的金刚线，将其置于蓝宝石硅棒下方，并使金刚线的走线方向与蓝宝石硅棒的轴线呈相对垂直；而后设定工件夹具转速及垂向移动的行程、设定金刚线的运行速度；最后旋转工件夹具及高速运行金刚线，同时下降黏合有宝石硅棒的工件夹具，使蓝宝石硅棒压迫正在高速运行的金刚线进行旋转切割作业，以解决现有技术中采用传统的垂直线切割的方式而不易切割、切割时间长以及生产效率低等问题。

主权项

一种蓝宝石硅棒的切割方法，其特征在于：(1)提供一圆柱形蓝宝石硅棒；(2)提供一具有黏合介质的工件夹具，使所述工件夹具黏合所述蓝宝石硅棒两侧的顶面及底面，并所述工件夹具可带动所述蓝宝石硅棒绕其轴线进行旋转以及垂向移动；(3)提供至少一根可高速运行的金刚线，将所述金刚线置于所述蓝宝石硅棒下方，并使所述金刚线的走线方向与所述蓝宝石硅棒的轴线呈相对垂直；(4)设定所述工件夹具转速及垂向移动的行程、设定所述金刚线的运行速度；以及(5)旋转所述工件夹具以及高速运行所述金刚线，同时下降黏合有所述蓝宝石硅棒的工件夹具，使所述蓝宝石硅棒压迫所述高速运行的金刚线进行旋转切割作业。