[发明专利]一种基于光子激励的光波导导波特性改善方法

摘要

本发明提供了一种基于光子激励的光波导导波特性改善方法，其特征在于，步骤为：采用紫外光由石英光波导的上包层的上表面垂直入射辐照石英光波导，在室温中放置后，再用紫外光和红外光分别从上包层的上表面垂直及侧面入射，随后在室温中放置。本发明在用现行光波导制造技术制备完成的石英光波导芯片上实施，是对现行石英光波导制造技术的一种后续工艺发展，其优点是：可明显改善石英光波导光学特性。

主权项

一种基于光子激励的光波导导波特性改善方法，其特征在于，由以下四个步骤按顺序共同构成：步骤1、采用波长为248nm的紫外光辐照石英光波导，所述248nm紫外光由石英光波导的上包层的上表面垂直入射，所述248nm紫外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面，所述248nm紫外光的辐照剂量须达到90J/cm2以上；步骤2、切断所述248nm紫外光的辐照，将所述石英光波导在室温中放置5分钟以上；步骤3、采用波长范围覆盖280nm～400nm的紫外光和波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光同时辐照所述石英光波导，所述波长范围覆盖280nm～400nm的紫外光由所述石英光波导的上包层的上表面垂直入射，所述波长范围覆盖280nm～400nm的紫外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面，所述波长范围覆盖280nm～400nm紫外光的辐照剂量须达到180J/cm2以上，所述波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光由侧面辐照所述石英光波导，所述波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光的辐照方向与所述石英光波导上表面法线成30度角，所述波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面，所述波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光的辐照剂量须达到70J/cm2以上；步骤4、同时切断所述波长范围覆盖280nm～400nm紫外光和波长范围覆盖8000nm～22000nm的红外光的辐照，将所述石英光波导在室温中放置30分钟。