[发明专利]一种多靶、耐高温、耐氧化太阳能吸收膜层及其生产方法

摘要

本发明公开了一种多靶、耐高温、耐氧化太阳能吸收膜层，它包括基片、金属层、吸收层和保护层，所述金属层均匀覆盖在基片表面上，吸收层均匀覆盖在金属层的上面，保护层均匀覆盖在吸收层的上面。本发明还公开了上述太阳能吸收膜层的生产方法。本发明采用磁控溅射镀膜技术，五靶(铝，硅，钢)在氩气和氧气中反应溅射沉积到抛光处理过金属、玻璃等基片上形成的氧化铝、氧化硅太阳能吸收膜层，由它们生成的膜层吸收好，发射低，吸收效果α可达到0.96，红外发射率ε最低可到6，膜层为蓝黑色为主，产品在500℃高温下烘烤5小时膜层不脱落、不变色，经普通胶带黏贴膜层不脱落，具有良好的力学性能，而且该膜层很容易和太阳能建筑一体化，适合在任何地区进行安装。

主权项

一种多靶、耐高温、耐氧化太阳能吸收膜层，其特征在于：它包括基片、金属层、吸收层和保护层，所述金属层均匀覆盖在基片表面上，吸收层均匀覆盖在金属层的上面，保护层均匀覆盖在吸收层的上面。