[发明专利]滤波鉴相式动态干涉测量系统

摘要

本发明涉及一种滤波鉴相式动态干涉测量系统，其由干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统构成，对被检测物体进行光学干涉测量。其干涉光学系统包括光路及移相装置；滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路。本发明提供的测量系统可在恶劣环境下进行在线测量，只需一幅干涉图就能得出测量结果，不降低CCD的分辨率，对测量环境没有特别要求，具有抗干扰能力强、测量精度高、性噪比高、分辨率高、测量时间短等特点。

主权项

一种滤波鉴相式动态干涉测量系统，其包括干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统；所述干涉光学系统包括光路及移相装置；滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路，其特征在于：其中所述光学系统包括光源、分束器、准直扩束镜、参考镜、被测物体、光阑、透镜，所述光源、分束器、准直扩束镜、参考镜、被测物体、光阑、透镜和光电探测器依次置于光路中，在参考镜背面固定一移相装置所述光源发出的光依次经过分束器、准直扩束镜、参考镜、移相装置后投射到被测物体表面上后，其反射光透过参考镜与参考镜前表面的反射光相遇发生干涉，干涉信号经准直扩束镜、分束器、参考镜、透镜投射到光电探测器的光敏面上将其转换成电信号；所述光电探测器连接信号处理电路，将电信号输入信号处理电路滤除其正弦调制信号，即得到被测量物体的表面形貌；所述同步移相控制电路由信号源、分频器、脉冲发生器、正弦信号源、合成器、直流源、电压放大器构成；信号源连接分频器，经N分频后输出二路，一路连接脉冲发生器，形成窄脉冲，再与光电探测器相连，控制光电探测器的曝光时间；另一路连接正弦信号源，控制正弦信号源产生的正弦信号，正弦信号源与直流源连接合成器，使正弦信号与直流源的直流在合成器中合成后，再连接电压放大器，电压放大器最后连接移相装置，放大驱动移相装置作移相操作，达到正弦移相目的；所述信号处理电路完成放大、乘法、滤波运算。