[发明专利]液体喷射头和液体喷射装置及压电元件有效
申请号: | 200910161246.6 | 申请日: | 2009-07-24 |
公开(公告)号: | CN101638004A | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 两角浩一;加藤治郎;傅田聪;朝冈一郎 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/01;H01L41/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李 伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏,并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备:与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12);和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300),该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80),所述第一电极(60)含有铂及氧化钛,该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol%以上。 | ||
搜索关键词: | 液体 喷射 装置 压电 元件 | ||
【主权项】:
1.一种液体喷射头,其特征在于,具备:与喷嘴开口连通的压力发生室;和具备第一电极、在该第一电极上形成的压电体层、和在该压电体层上形成的第二电极的压电元件;所述第一电极含有铂及氧化钛,该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol%以上100mol%以下。
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