[发明专利]振动镜元件有效
| 申请号： | 200910160459.7 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101630063A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 神野伊策;小寺秀俊;村山学;藤井仁 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;H01L41/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种振动镜元件，该振动镜元件包括：底座部件；由镜子部、从两侧将镜子部支撑成能摆动并作为下部电极起作用的可动部、支撑可动部并安装于底座部件的安装部一体形成的金属形成的基板；设置在基板的可动部上、并通过对其施加周期性的电压而使镜子部振动的压电膜；以及设置在压电膜上的上部电极。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 | ||
【主权项】：
1.一种振动镜元件，其特征在于，包括：底座部件；基板，该基板由将镜子部、从两侧将所述镜子部支撑成能摆动并作为下部电极起作用的可动部、支撑所述可动部并安装于所述底座部件的安装部一体形成的金属形成；压电膜，该压电膜设置在所述基板的所述可动部上，并通过对所述压电膜施加周期性的电压而使所述镜子部振动；以及上部电极，该上部电极设置在所述压电膜上。
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