[发明专利]曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法无效
| 申请号： | 200910154354.0 | 申请日： | 2009-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101701796A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 张春晖;梁宜勇;陈龙江;罗剑波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法。该曲面胶厚检测装置包括激光发射器、导轨、分光棱镜、第一光功率计、第二光功率计和透镜，分光棱镜设置于导轨上，激光发射器发出的光线照射在分光棱镜上，经过分光棱镜后的透射光线照射在第一光功率计上，经过分光棱镜后的反射光线照射在透镜上，经过透镜的光线沿被检样品的胶层曲面球心方向入射，光线在被检胶层曲面反射后沿入射光路返回，依次经过透镜和分光棱镜后照射在第二光功率计上。本发明可实现无损地对曲面基底上的光刻胶厚度及分布进行逐点测量。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面 检测 装置 胶厚逐点 方法 | ||
【主权项】：
一种曲面胶厚检测装置，其特征在于：包括激光发射器(1)、导轨(2)、分光棱镜(3)、第一光功率计(4)、第二光功率计(5)和透镜(6)，所述分光棱镜(3)设置于导轨(2)上，激光发射器(1)发出的光线照射在分光棱镜(3)上，经过分光棱镜(3)后的透射光线照射在第一光功率计(4)上，经过分光棱镜(3)后的反射光线照射在透镜(6)上，经过透镜(6)的光线沿被检样品的胶层曲面球心方向入射，光线在被检胶层曲面反射后沿入射光路返回，依次经过透镜(6)和分光棱镜(3)后照射在第二光功率计(5)上。
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