[发明专利]用于生成微波激发的微等离子体的便携式电源装置

摘要

提供了一种用于生成微波等离子体的便携式电源装置，通过使用具有特殊频率的微波生成等离子体、在生成等离子体之后监控从等离子体生成装置反射的功率、检测改变的阻抗匹配条件并校正频率，该便携式电源装置能够使从等离子生成装置反射的功率最小化并能够改善等离子体生成装置的功耗。

主权项

一种用于为生成微波等离子体的微波等离子体生成装置提供功率的便携式电源装置，其包括：振荡放大单元，其具有输出级和振荡器，所述输出级被连接到所述微波等离子体生成装置，所述振荡器用于提供放大的微波；和反射功率反馈单元，其具有的一个级被连接到所述微波等离子体生成装置，以在生成所述等离子体时接收从所述微波等离子体生成装置100反射的反射功率作为反馈并测量所述反射功率的梯度，所述反射功率反馈单元具有的另一个级被连接到所述振荡放大单元，以生成开关控制信号并提供所述开关控制信号，所述开关控制信号用于将所述微波的频率调节为适于改变后的反射功率的频率。