[发明专利]用于铸造多晶硅晶锭的装置及方法无效
| 申请号： | 200910145225.5 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101899707A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 克拉玛达提·V·拉韦;汉斯·J·瓦利茨基 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于通过定向凝固制造多晶硅晶锭的装置和方法包括两个或两个以上位于坩埚下面的可移动热屏障，以受控方式开启所述热屏障，以便去除热量并生产高质量硅晶锭。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 铸造 多晶 硅晶锭 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过定向凝固生产多晶硅晶锭的装置，所述装置包括：包含侧壁和底部的坩埚；用于保持所述坩埚的包括侧壁和底部部分的坩埚支架；多个围绕所述坩埚支架的至少一部分的固定加热器，所述加热器能够将硅加热到熔化温度；以及至少两个在所述坩埚支架底部部分的可移动热屏障，所述热屏障可以控制在与所述坩埚底部相同的平面内移动。
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