[发明专利]基板的伸缩状态显示装置、及基板的伸缩状态显示方法无效
| 申请号： | 200910138418.8 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101579753A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 阿须贺拓;东海林健 | 申请（专利权）人： | 精工精密有限公司 |
| 主分类号： | B23B47/00 | 分类号： | B23B47/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;李 伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可容易地掌握基板整体的变形形态的基板的伸缩状态显示装置及方法。在规定了基板坐标系的数据显示部中，显示与设置在基板上的各标记的中心的位置坐标(xm，ym)分别对应的圆形符号。而且，显示与以各标记的中心的位置坐标(xm，ym)为起点的由向量(ΔDx，ΔDy)表示的X射线相机(12)的视野中心，在基板坐标系中的位置坐标(xc，yc)分别对应的方形符号。由此，可以从视觉上识别基板错移何种程度。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩 状态 显示装置 显示 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板的伸缩状态显示装置，其特征在于，具备：按照设置在基板上的多个标记各自的中心与规定的基准位置一致的方式，使所述基板依次移动的第一机构；每当移动所述基板时，依次检测所述基准位置与所述标记的中心的位置错移量的第二机构；和根据所述检测出的位置错移量，显示基板的伸缩状态的第三机构。
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