[发明专利]热式红外线固态成像装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种热式红外线固态成像装置及其制造方法。所述热式红外线固态成像装置用于增强檐部的入射红外线吸收能力，并且能够改善像素的热响应特性。所述热式红外线固态成像装置包括红外线检测器，所述红外线检测器至少具有：基底，所述基底具有用于读出信号的集成电路；隔膜，用于检测通过吸收红外线而导致的温度变化；以及支撑部，用于在所述基底的一侧的表面的上方以其间的隔膜，在所述隔膜和支撑部之间具有空间；并且所述热式红外线固态成像装置包括檐部，其连接到在所述隔膜的外周边附近提供的连接区域，并且在跨越一空间的上方至少覆盖除了所述隔膜之外的部件，并且向所述隔膜传输通过吸收入射红外线而产生的热量。

主权项

1. 一种热式红外线固态成像装置，包括：基底，在所述基底中形成用于读出信号的集成电路；红外线检测器，至少具有隔膜和支撑部，所述隔膜包括温度检测部，所述支撑部在所述基底的一侧的表面的上方以在其间留有空间的形式支撑所述隔膜，并且所述支撑部包括配线，所述配线用于电气地连接所述集成电路和所述隔膜的所述温度检测部；以及，檐部，连接到所述隔膜的外周边附近，至少具有第一区域、第二区域以及第三区域，并且用于将通过吸收入射的红外线而产生的热量传输至所述隔膜，其中，所述第一区域延伸到所述隔膜外部，所述第二区域连接到所述隔膜的外周边附近，所述第三区域从所述外周边附近向上立起在半空中，其中，所述檐部所具有的第一区域的厚度比所述第二区域和所述第三区域的厚度更厚。