[发明专利]一种低温吸附连续生产超纯气体的方法无效
| 申请号： | 200910119273.7 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN101530717A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 郭友才 | 申请（专利权）人： | 光明化工研究设计院 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 北京金富邦专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 蔡志勇;胡世明 |
| 地址： | 116031辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种采用低温吸附工艺纯化含杂质气体，连续生产超纯气体的方法。该方法是以液氮作冷源，使用液氮蒸发器使原料气体冷却至所需温度，然后使用低温吸附塔组进行吸附，从而制得纯度达到6N以上的超纯气体，此外，该方法还包括产品气体和低温氮气的冷量回收过程。本发明方法可用于连续生产超纯氢气、氘气、氚气、氦气、氖气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳和甲烷等。本发明从根本上解决了以往将吸附塔(柱)直接放入液氮槽的诸多缺陷，并实现超纯气体的大规模连续生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 吸附 连续生产 气体 方法 | ||
【主权项】：
1、一种低温吸附连续生产超纯气体的方法，包括以下步骤：(1)冷却含杂质的原料气体：原料气体进入以液氮为冷源的液氮蒸发器，将从液氮蒸发器排出的原料气体冷却至-160～-190℃；(2)低温吸附：冷却后的原料气体进入低温吸附塔组中，这些塔平行排列，异相操作，使至少一个塔在进行吸附时，另一个塔进行再生，按照设定周期定时切换，经过吸附操作制取纯度达到6N以上的产品气体。
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