[发明专利]一种非晶硅氧化物纳米线的修饰加工方法无效
申请号: | 200910112084.7 | 申请日: | 2009-06-26 |
公开(公告)号: | CN101591004A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | 朱贤方;苏江滨;吴燕;李论雄;黄胜利;逯高清;王连洲 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人: | 马应森 |
地址: | 361005福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种非晶硅氧化物纳米线的修饰加工方法,涉及一种纳米线的修饰加工方法。提供一种非晶硅氧化物纳米线的修饰加工方法。先从硅片衬底上刮下硅氧化物纳米线粉末,用有机溶剂分散至形成颜色均匀的悬浮液时,再将含硅氧化物纳米线的有机溶液加到附有微栅碳膜的铜网上,静置得TEM样品;放入样品座中固定好,将样品杆推入到样品室中并对透射电镜抽真空,对样品中的硅氧化物纳米线进行观察分析;先在TEM低倍观察模式下对硅氧化物纳米线进行粗选,在高倍数观察模式下对粗选纳米线作进一步筛选;先用电镜附带的CCD拍下修饰前所选纳米线的形貌,对纳米线行辐照,实时拍照记录纳米线的形貌变化过程,重复“辐照-拍照”,直至得所需形貌的纳米线。 | ||
搜索关键词: | 一种 非晶硅 氧化物 纳米 修饰 加工 方法 | ||
【主权项】:
1.一种非晶硅氧化物纳米线的修饰加工方法,其特征在于包括以下步骤:1)TEM样品的准备:先从硅片衬底上刮下硅氧化物纳米线粉末,用有机溶剂分散,至形成颜色均匀的悬浮液时,再将含硅氧化物纳米线的有机溶液加到附有微栅碳膜的铜网上,静置,得TEM样品;2)装样:将步骤1)得到的TEM样品放入样品座中固定好,然后将样品杆逐步推入到样品室中并对透射电镜抽真空,对样品中的硅氧化物纳米线进行观察分析;3)纳米线的筛选:先在TEM低倍观察模式下对硅氧化物纳米线进行粗选,然后在较高倍数观察模式下对粗选的纳米线作进一步筛选;4)纳米线的修饰:先用电镜附带的CCD拍下修饰前所选纳米线的形貌,然后对纳米线进行辐照,并实时拍照记录纳米线的形貌变化过程,重复“辐照-拍照”过程,直至得到所需形貌的纳米线。
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