[发明专利]一种非球面检测仪无效
| 申请号： | 200910110852.5 | 申请日： | 2009-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101464141A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 郭隐彪;刘建春;刘古今;朱永炉 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种非球面检测仪，涉及一种光学非球面检测设备。提供一种结合非接触式与接触式测量的优缺点，将接触式和非接触式测量融合在一起对非球面表面进行测量，通过两种方法相互补偿，以得到较高测量精度的非球面检测仪。设有结构架、检测平台、非接触激光位移测头、光栅接触式位移测头、XYZ三轴运动机构和控制装置，非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头安装在XYZ三轴运动机构的Z轴上，检测平台设在X轴运动机构上；XYZ三轴运动机构上分别装有X轴马达、Y轴马达和Z轴马达，通过X轴马达、Y轴马达和Z轴马达带动XYZ三轴运动机构，从而实现非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头的运动，对非球面光学元件实现三维测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 检测 | ||
【主权项】：
1. 一种非球面检测仪，其特征在于设有结构架、检测平台、非接触激光位移测头、光栅接触式位移测头、XYZ三轴运动机构和控制装置，非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头安装在XYZ三轴运动机构的Z轴上，检测平台设在X轴运动机构上用于放置非球面光学元件；XYZ三轴运动机构上分别装有X轴马达、Y轴马达和Z轴马达，通过X轴马达、Y轴马达和Z轴马达带动XYZ三轴运动机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910110852.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超声波流量检测系统及检测方法
- 下一篇：非球面光学元件顶点的检测方法
